VPV-F

特性:

1. 可清除5μ以上粉塵。

2. 中間直吹出超音波高速氣流，而由兩側吸取，避免因基板厚度不同，造成高低，所產生擾流。

3. 乾式洗淨，無液體乾燥困擾。

4. 超音波有效面均一，無老化及損壞問題。

5. 非接觸式，不會損傷材料。